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SIGMAKOKI西格瑪光機X軸手動納米平臺
產品型號:TADC-601SPA
產品品牌:SIGMAKOKI西格瑪光機
產品介紹:

通過在X軸手動平臺本體上加裝壓電驅動器來實現20nm以下的精密微調。適用于需要高分辨率定位機能的手動平臺組件或系統。臺面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三種。

詳細介紹
SIGMAKOKI西格瑪光機X軸手動納米平臺 / TADC-601SPA


通過在X軸手動平臺本體上加裝壓電驅動器來實現20nm以下的精密微調。適用于需要高分辨率定位機能的手動平臺組件或系統。臺面尺寸有25x25,40x40,60x60mm,65x65mm等三種。

無需對手動納米平臺操作箱進行設定即可進行微調。可同時使用旋鈕和微分頭進行微調和粗調,互不影響。
微調需要通過納米平臺手動操作箱(PASC)來進行。手動納米平臺附有一條用于連接納米平臺手動操作箱的2m長電纜。

注意
安裝平臺時,一定要注意不要碰撞微分頭的對側擋板,以防對壓電驅動機構造成破壞。
關掉納米平臺手動操作箱(OASC)電源后,壓電微調位置會發生變化。

臺面尺寸 60×60mm
手動微調*小分辨率(參考值) 20nm以下
微分頭*小讀數 0.01mm
微分頭的安裝位置 側面
扭矩剛度/俯仰 0.3″/N?cm
扭矩剛度/轉動 0.25″/N?cm
導軌形式 TSD導軌
移動精度/直線度 3μm
移動平行度 10μm
行程/周 0.5mm
*大承載力矩/俯仰 4.9N?m
*大承載力矩/偏擺 4.9N?m
*大承載力矩/轉動 4.9N?m
自重 0.25kg
主要材料 鋁合金
粗調行程 ±6.5mm
承載能力 49N(5kgf)
微調行程 30μm以上
表面處理 黑色氧化
平行度 30μm

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