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產(chǎn)品類目

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SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)10nm分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：NFS120-100PX

產(chǎn)品品牌：SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)

產(chǎn)品介紹：

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。 10nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。

詳細(xì)介紹

SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)10nm分辨率閉環(huán)控制平臺(tái) / NFS120-100PX

使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，經(jīng)CE和UKCA認(rèn)證。內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。
10nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。

由于采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，與壓電平臺(tái)相比，可移動(dòng)距離較長(zhǎng)，有各種行程和臺(tái)面尺寸可供選擇。
從提高可用性的觀點(diǎn)出發(fā)，實(shí)現(xiàn)了基于AutoConfig功能的平臺(tái)分辨率自動(dòng)識(shí)別。
提供NFS系列閉環(huán)控制平臺(tái)用控制器SHRC-203。

※1連接到SHR控制器后，AutoConfig功能自動(dòng)設(shè)定分辨率。
※2 啟用多點(diǎn)糾錯(cuò)功能時(shí)的數(shù)值。
※3 在微小范圍內(nèi)進(jìn)行重復(fù)定位精度測(cè)量（ISO）所得到的結(jié)果。?NFS-PX系列10nm閉環(huán)控制平臺(tái)測(cè)量步長(zhǎng)（間距）：50nm

注意
請(qǐng)?jiān)跍囟茸兓炔淮蟮沫h(huán)境中使用。（推薦：23±1℃）
請(qǐng)盡量在振動(dòng)較小的環(huán)境中使用。或采取一定的防振措施。
請(qǐng)?jiān)跊]有油霧的環(huán)境中使用。光柵尺如果被污染的話可能會(huì)產(chǎn)生誤差。

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使用5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高分辨率閉環(huán)控制平臺(tái)，內(nèi)置光柵尺，具有高重復(fù)定位精度和高分辨率。 10nm分辨率的平臺(tái)有8種臺(tái)面尺寸可供選擇。