※1連接到SHR控制器后，AutoConfig功能自動設定分辨率。 ※2 啟用多點糾錯功能時的數值。 ※3 在微小范圍內進行重復定位精度測量（ISO）所得到的結果。?NFS-UPX系列1nm閉環控制平臺測量步長（間距）：5nm 注意 請在溫度變化幅度不大的環境中使用。（推薦：23±1℃） 請盡量在振動較小的環境中使用。或采取一定的防振措施。 請在沒有油霧的環境中使用。光柵尺如果被污染的話可能會產生誤差。