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5100系列是一款質量流量控制器，它實現了無焊接結構（VCR規格），金屬密封的基本性能，以及半導體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。

通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現高精度，高速傳感器響應
采用電磁鐵電磁閥常閉閥
由于無焊接結構（VCR規格），金屬密封，泄漏低、
采用隔膜閥，減少死體積
面對面，體型和接線連接與其他公司的更換兼容

標準規格

流量范圍（N2轉換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方式		比例螺線管閥門（未通電時關閉）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應速度		1秒內（±2％F.S.內）
準確性		±1％F.S.
溫度系數		0.1％F.S./°C（15~35°C）
再現性		±0.2%F.S.
操作壓差范圍		F.S.≤5SLM50. 300kPa
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
		選項：低壓差規格（LP）可根據條件制造
可工作壓力		300kPa（G）以下
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度		0~50℃
允許環境濕度		10~90%RH（無結露）
氣體接觸材料		車身SUS316L
		隔膜SUS316L
		閥座PTFE
		密封材料SUS316L，Ni，Au
		選項：SUS密封（SU），內部磨削規格（KP）
電氣連接		Dsub 9針KFC　標準（符合SEMI標準）
流量設定輸入信號		0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號		0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA， -15 VDC（±5％）200 mA
配件（車身尺寸）		標準1/4 VCR等效選項1/4 SWL
重量		約1000g

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標準引腳排列

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**金屬密封質量流量控制器

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標準規格

5100系列是一款質量流量控制器，它實現了無焊接結構（VCR規格），金屬密封的基本性能，以及半導體工藝氣體控制所需的±1％精度。
板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辨率，可以處理1 sccm（N2）的微流量。