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KOSAKA小輪廓測量機半導體
產品型號: EF550A小輪廓測量機系列面粗糙度輪廓測量機
產品品牌:KOSAKA小坂研究所
產品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創業以來,一直以使用精密工程學技術被信賴的“技術”為口號,開發、銷售商品群。擁有以形狀測量機為中心的精密機器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機器、以及半導體制造相關裝置、自動包裝機等自動設備三個領域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細介紹


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創立的公司,也是日本家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。

設備特點:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計,粗度儀EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機  SEF580A、EF800

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀 

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細深孔測量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關節管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設備

KOSAKA小坂高精度貼片機SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器



KOSAKA小坂研究所,營業項目:自動車光電半導體精密測定機器,表面粗度測定機,微細形狀測定,輪廓形狀測定機,真圓度測定/真圓度圓筒形狀測定機


營業項目適應行業:


表面粗糙度測量機:使用鉆石或是激光光學測針、接觸(追蹤)加工件表面、測量出工件表面微細凹凸、并以定型或定量來分析粗糙度參數。


微細形狀、臺階測量計:FPD基板、硅晶片、硬磐等表面微細形狀、臺階、粗糙度測量


圓度、圓柱形狀測量機:測量發動機、缸體、活塞、曲軸、軸承等,具有圓度圓柱度、球形、平面形狀的工件,評估圓度、圓柱度、直線度、同軸度等形狀精度


輪廓測量機:以測針追蹤加工部件外形測量出輪廓,分析出輪廓各部位的角度,半徑、間隔、臺階、段差等等




配備分析宏,支持復雜分析工作的省力化。

  • 它是一種具有高度便攜性和安裝自由度的測量機。
  • 通過實時輸出功能,可以獲得測得的放大形狀數據。
  • 通過連接到輪廓形狀分析系統,可以進行更**的分析。
測量精度 Z:±(2.5+0.5×|H|) μm以下 H:位移 (mm) X:± (2.5 + 0.02 L) μm 以下 L:測量長度 (mm)
分辨率 Z:0.25 μm X 刻度:0.1 μm
采樣次數/*小間隔 *大 64,000 點 / *小 0.5μm
測量范圍 Z:30毫米 X:50毫米
顯示放大倍率 垂直(Z)、水平(X):1~2,000次


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