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HORIBA堀場(chǎng)一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀Auto SE
產(chǎn)品型號(hào): Auto SE
產(chǎn)品品牌:HORIBA堀場(chǎng)儀器
產(chǎn)品介紹:

HORIBA堀場(chǎng)集團(tuán)向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測(cè)試儀器。我們的業(yè)務(wù)涉及汽車(chē)測(cè)試、科學(xué)儀器、過(guò)程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場(chǎng)展示出自己的優(yōu)勢(shì),尤其在汽車(chē)排放和煙道氣測(cè)量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過(guò)去幾年來(lái),我們?nèi)〉昧碎L(zhǎng)足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是,我們的分析和測(cè)量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻(xiàn),并為解決能源問(wèn)題助一臂之力。

詳細(xì)介紹

HORIBA堀場(chǎng)集團(tuán)向各行業(yè)領(lǐng)域提供高品質(zhì)的分析與測(cè)試儀器,49家分公司遍布全球27個(gè)國(guó)家。 

我們的業(yè)務(wù)涉及汽車(chē)測(cè)試、科學(xué)儀器、過(guò)程和環(huán)境儀器、體外診斷和半導(dǎo)體儀器等。我們已在全球市場(chǎng)展示出自己的優(yōu)勢(shì),尤其在汽車(chē)排放和煙道氣測(cè)量、空氣污染、水污染監(jiān)控、不同行業(yè)的質(zhì)控以及臨床診斷等領(lǐng)域。過(guò)去幾年來(lái),我們?nèi)〉昧碎L(zhǎng)足發(fā)展。讓我們感到高興和自豪的是,我們的分析和測(cè)量業(yè)務(wù)為全球的環(huán)保、**和健康事業(yè)做出貢獻(xiàn),并為解決能源問(wèn)題助一臂之力。我認(rèn)為正是這種自豪感促使我們提供更具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品。 

擁有自豪感和勇于挑戰(zhàn)的精神,以充沛的體力和激情投入到工作中去,譜寫(xiě)一個(gè)更加令人滿(mǎn)意的人生。我們將更加快樂(lè)過(guò)好每**的愿望融入企業(yè)哲學(xué),這一精神自企業(yè)創(chuàng)建以來(lái)一直代代相傳。遍布全球的大約7,000名堀場(chǎng)人(這樣稱(chēng)呼的原因是我們把堀場(chǎng)集團(tuán)的所有員工都看成是一家人)是我們企業(yè)發(fā)展的源泉,他們能夠正確理解“新奇、有趣”這一企業(yè)哲學(xué),并在日常工作和生活中很好地貫徹。 

我們將一如既往地以自豪的態(tài)度和勇于迎接挑戰(zhàn)的精神為社會(huì)做出貢獻(xiàn)。 

橢圓偏振光譜儀

薄膜表征的有效技術(shù)

橢圓偏振光譜是一種表面敏感、非破壞性、非侵入性的光學(xué)技術(shù),廣泛應(yīng)用于薄層和表面特征。它基于線(xiàn)偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過(guò)模型擬合獲得厚度以及光學(xué)常數(shù)等。根據(jù)薄膜材料的不同,可測(cè)量的厚度從幾個(gè)?到幾十微米。橢圓偏振光譜是一種很好的多層膜測(cè)量技術(shù)。

橢圓偏振光譜儀可以表征薄膜的一系列特性,如膜厚、光學(xué)特性(n,k)、光學(xué)帶隙、界面和粗糙度厚度,薄膜組成,膜層均一性,等等。

橢圓偏振光譜適合分析的材料包括半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物和金屬。也可用于研究固-液或液-液界面。

HORIBA橢圓偏振光譜儀采用新型高頻偏振調(diào)制技術(shù),測(cè)試過(guò)程中無(wú)任何機(jī)械旋轉(zhuǎn)。與傳統(tǒng)橢偏儀相比,更快的測(cè)試速度、更寬的測(cè)量范圍以及更高的表征精度。

UVISEL PLUS橢圓偏振光譜儀//Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具//Smart SE- 功能強(qiáng)大,高性?xún)r(jià)比橢偏儀//UVISEL 2 VUV

真空紫外橢偏儀

//UVISEL Plus In-Situ

在線(xiàn)監(jiān)控橢偏儀

//大面積成像橢偏儀//在線(xiàn)橢偏儀



國(guó)內(nèi)/華東總代總工辦事處 日本HORIBA堀場(chǎng)一鍵式全自動(dòng)快速橢偏儀Auto SE 

Auto SE是一種新型薄膜測(cè)量工具。僅需簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鈕,幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告,包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過(guò)率。

Auto SE全自動(dòng)化設(shè)計(jì)、一鍵式操作,功能齊全。配備自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)進(jìn)行成像分析,自動(dòng)切換微光斑,多種附件可選,以滿(mǎn)足不同的應(yīng)用需求。

Auto SE借助完整的操作向?qū)В?/span>自動(dòng)檢測(cè)并診斷問(wèn)題,對(duì)故障進(jìn)行處理,儀器維護(hù)簡(jiǎn)單

Auto SE是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

  • 全自動(dòng)流程,薄膜分析更容易
  • 高性能系統(tǒng)
  • 光斑可視化,微光斑可至25x60 μm
  • 功能齊全和靈活
  • 智能診斷
  • 光譜范圍:440-1000nm
  • 光斑尺寸:7個(gè)尺寸微光斑全自動(dòng)切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
  • 探測(cè)系統(tǒng):CCD,分辨率2nm
  • 樣品臺(tái):真空吸盤(pán),Z軸行程40mm
  • 光斑可視系統(tǒng):CCD攝像機(jī)-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
  • 量角器:固定角70°,也可選擇66°或61.5°
  • 多種附件可選
  • 測(cè)試時(shí)間:<2s,常規(guī)為5s
  • 準(zhǔn)確性:NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
  • 重復(fù)性:NIST 15nm ± 0.2 ?


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