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博曼Bowman鍍層超大PCB/晶圓測(cè)量XRF測(cè)厚儀A系
產(chǎn)品型號(hào)： A系列
產(chǎn)品品牌：Bowman美國博曼
產(chǎn)品介紹：

美國博曼（Bowman）是高精度臺(tái)式鍍層測(cè)厚儀供應(yīng)商，擁有近40年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。博曼XRF系統(tǒng)搭載擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的鍍層檢測(cè)技術(shù)和先進(jìn)的軟件系統(tǒng)，可精準(zhǔn)高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統(tǒng)可同時(shí)測(cè)量包含基材在內(nèi)的五層元素，其中任何兩層元素可以是合金。同時(shí)，博曼XRF系統(tǒng)也可以測(cè)量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測(cè)量系統(tǒng)滿足業(yè)界對(duì)精度，可靠性和易用性的嚴(yán)格要求。

詳細(xì)介紹


A 系列微型 XRF 專為**測(cè)量半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域中*小的 X 射線特征而設(shè)計(jì)。 它可容納非常大的 PCB 面板或任何尺寸的晶圓，以實(shí)現(xiàn)完整的樣品覆蓋和多點(diǎn)可編程自動(dòng)化。

Bowman 的 A 系列使用多毛細(xì)管光學(xué)器件將 X 射線束聚焦到 7.5 μm FWHM，這是使用 XRF 儀器進(jìn)行涂層厚度分析的世界上*小的。 140X 放大相機(jī)用于測(cè)量該比例的特征； 它配有一個(gè)輔助低放大倍率相機(jī)，用于實(shí)時(shí)查看樣品和鳥瞰宏觀視圖成像。 Bowman 的雙攝像頭系統(tǒng)讓操作員可以看到整個(gè)零件，單擊圖像以使用高倍率攝像頭進(jìn)行縮放，并**定位要編程和測(cè)量的特征。

可編程 XY 平臺(tái)在每個(gè)方向上移動(dòng) 23.6 英寸（600 毫米），可以處理
業(yè)內(nèi)*大的樣本。 該平臺(tái)的每個(gè)軸的精度小于 +/- 1 μm，并且是
用于選擇和測(cè)量多個(gè)點(diǎn)； Bowman 模式識(shí)別軟件和自動(dòng)對(duì)焦
功能也會(huì)自動(dòng)執(zhí)行此操作。 該系統(tǒng)的內(nèi)置模式識(shí)別可用于查看零件（例如硅晶片）上涂層的形貌。






  

  


產(chǎn)品規(guī)格

元素測(cè)量范圍： 13號(hào)鋁元素 到 92號(hào)鈾元素
X射線管： 50 W Mo 目標(biāo) Flex-Beam 毛細(xì)管光學(xué)器件 @7.5 FWHM 在 17 KeV 可選：Cr 或 W
探測(cè)器： 優(yōu)于135eV分辨率的大窗口硅漂移探測(cè)器
分析層數(shù)
及元素?cái)?shù)： 		5 層（4 層 + 基礎(chǔ)），每層 10 個(gè)元素。 同時(shí)分析多達(dá) 25 種元素的成分
濾波器/準(zhǔn)直器： 4位置一次濾波器
輸出焦深： 固定為0.08英寸（2.03毫米）
數(shù)字脈沖處理： 具有靈活整形時(shí)間的 4096 CH 數(shù)字多通道分析儀。 自動(dòng)信號(hào)處理，包括死區(qū)時(shí)間校正和逃逸峰校正
計(jì)算機(jī)： Intel，CORE i5 第 9 代處理器 (4.1 GHz)，16GB RAM，Microsoft Windows 10 Prof，64 位
相機(jī)： 1 / 4"CMOS-1280×720 VGA分辨率
視頻放大倍率： 140X Micro & 7X Digital Zoom: 9X Macro & Table View
電源： 720W，100?240V; 頻率范圍為47Hz到63Hz
重量： 1000kg（2200磅）
工作環(huán)境： 溫度介于68°F（20°C）與77°F（25°C）之間，相對(duì)濕度小于98％，無冷凝
可編程XYZ平臺(tái)： XYZ行程：600毫米（23.6英寸）x 600毫米（23.6英寸）x 100毫米（3.9英寸）
XY桌面：560mm（22“）x 585mm（23”）
X & Y 軸精度：1um (40u”)
Z軸精度：1um (40u”)
樣品倉尺寸： 高度：100mm（4"），寬度：1400mm（55"），深度：1470mm（58"）
外形尺寸： 高度：1780mm（70"），寬度：1470mm（58"），深度：1575mm（62"）
其他新特征： Z 保護(hù)陣列、自動(dòng)對(duì)焦、聚焦激光、圖案識(shí)別、Semi S2 S8 兼容就緒

X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測(cè)器
SDD硅漂移探測(cè)器 普通 普通 普通 普通 普通 普通 無 無 無
大窗口硅漂移探測(cè)器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個(gè)準(zhǔn)直器 普通 普通 無 無 無 無 無 無 無
多個(gè)準(zhǔn)直器 無 可選 普通 普通 普通 無 無 無 無
毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu) 無 無 無 可選 即將推出！ 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動(dòng)聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個(gè)固定焦距 普通 普通 無 無 無 普通  普通 普通 普通
可變焦距 無 可選 普通 普通 普通 無 無 無 無
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通 無 無 無 無
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通 無 無 無
140X 微型 無 無 無 無 無 無 普通 普通 普通
7倍數(shù)碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 無 無 無 無 無 無 普通 普通 普通
表格檢視 無 無 無 可選 可選 無 普通 普通 普通
平臺(tái)&外形尺寸
Z軸控制方式 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 自動(dòng)表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 無 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標(biāo)準(zhǔn)XY行程 無 無 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 無 10 × 10" 無 無  10 × 10" 無 無 無
可選的Max XY Travel 無 無 16 × 16" 無 無  16 × 16" 16 × 16" 無 無
平臺(tái)精度 無 無 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉尺寸（高*寬*深） 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg

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