以往的問題

端面采樣描述

通過位置調整，使采樣液不會被卷到旋轉晶圓的正反面上。（已取得**）

日本有限會社NAS技研簡易性微量金屬污染物采用設備（NAC系列）
NAC-302 NAC-304 NAC-316 

＜NAC系列的主要特點＞
●對于硅晶圓，全自動地進**相分解→污染物采樣→采樣樣品的稀釋作業。
●對于憎水性和親水性晶圓二者都可以采樣（端面采樣**憎水性晶圓）。
●對于大量晶圓有采樣分析的需求時，本設備可以大顯身手
●擁有對于采樣液的計量和稀釋功能，一旦晶圓上有藥液殘留時可以防止作業繼續進行。
●獨特的窗門雙層結構，以防工作空間內的酸氣氛和操作員一方的空氣發生交叉污染。
●具有自動清洗采樣用支架具的功能，削減了手工操作（※表面和端面二種支架具都適用）。

另外，還有“基體蝕刻→晶圓污染物采樣”全自動設備（NAC-304）。
并且，近幾年來，為減少污染，對于“基體蝕刻→晶圓污染物采樣→ICP-MS自動對接并進行元素分析”一氣完成的需求日益高漲（NAC-316）。