従來の問題

エッジ汚染回収技術

• 基本は水平になっているウェーハを垂直に立てる。
• 回転させながらエッジだけを液に侵漬するので、難しい。

當社製品の特長による解決方法

表面張力を利用したエッジ回収治具

• 側面スリットからわずかにはみ出した液にエッジ部を接觸。
• 表面張力により液が丸まるため、液は流れ出ることがありません。

エッジ回収の実際

• エッジ部だけを液に接觸させながらウェーハを回転。
• 位置を調整することで表裏面に液が回り込まないように設定可能です。（特許取得）