嵌入型
UNECS 系列
UNECS-1M
ULVAC特點
高速測定：
獨特的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產品陣容：
產品陣容應用廣泛，包括如獨特的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環境的內置類型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數的測量
規格
波長范圍 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（選擇）
點徑 Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度 70o固定
膜厚再現性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍 1nm ～ 2μｍ
測量時間 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms
平臺 固定類型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC 筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機器構成 測量本體（帶固定臺）、控制器BOX、光源單元
操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD）